PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD系統(tǒng)PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統(tǒng)PECVD-12IH-4Z/G
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更新時間:2025-02-27
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PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD系統(tǒng)PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統(tǒng)PECVD-12IH-4Z/G
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PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD系統(tǒng)PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統(tǒng)PECVD-12IH-4Z/G
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操作便捷性:1、方便的氣路快速連接口,簡化了流量控制系統(tǒng)與其他設(shè)備的鏈接。2、配置有三種接口(寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口),方便組合多種連接方式。
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操作便捷性:1、抽氣口及氣路連接口采用KF式快速連接結(jié)構(gòu)。簡化安裝過程,只需用卡箍便可完成連接,方便操作。2、配置兩種電源連接線,即可直接與我公司的產(chǎn)品直接連接組合使用,也可單獨連接都室內(nèi)電源獨立使用。
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